產品詳情
CGO-高低溫真空探針臺
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
CGO-高低溫真空探針臺
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
光學系統：
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | 水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
◆ 其他組件：
真空組件 | 分子泵組/機械泵/離子泵 |
冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機 |
可選附件
超高溫配件 |
顯示器 |
轉接頭 |
射頻測試配件 |
屏蔽箱 |
光學平臺 |
鍍金卡盤 |
光電測試配件 |
高壓測試配件 |
分子泵組 |
激光系統 |
氣敏測試配件 |
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